質量流量技術提供更可靠，可重複和精確的氣體流量的測量相比，體積的方法，如rotometers和渦輪米。質量流量測量使用密度的氣體質量流量轉換單位（公斤或磅）的單位體積方面的熟悉（升/分）。然而，仍有大量的測量單位（我們稱這些單位的標準升/分鐘（SLM）），它們不隨溫度和壓力的變化。我們這樣做是通過引用只有一個，特定的溫度和一個特定的壓力（STP）。
300 - D系列質量流量儀表有流量範圍從 0-5 sccm至0-3,000可持續土地管理，使用全金屬密封件，提供模擬輸出，並建造不銹鋼。質量流量控制器有常閉閥。腐蝕性氣體，與異常的鹵素，壓力高達 1000 psig（可選）很容易測量。
自診斷功能的傳感器，閥門和溢流都包含在數字功能。此外感興趣的是汽車零檢測功能，當閥門關閉，並自動復位為零。這些質量流量計和控制器可存儲多達 10個不同的範圍和校準氣體。當監視不同的氣體在同一水平的幅度，（流量，分子量）本儀器是經濟優勢和更有效的在改變氣體。另一個特點是內置在累積監測燃氣使用用戶設置的條件下。
±（0.5％讀數 + 0.2％滿量程）精度為 3000 SLM
Features
Accessories For Meters And Controllers
| Applications
• University Research • Leak Testing • Vapor Deposition • Pharmaceutical Processes • R&D And Process Flows • Semiconductor Processes • Gas Blending • Thermal Flame Spray • Applications where Acc critical vacu's |
for 0 - 2,500 slm
型錄下載：http://www.teledyne-hi.com/pdfs/PB-168_HFM-D-301,303,305,307.pdf
使用者手冊：http://www.teledyne-hi.com/Manual/Flow/163-%20HFM-D-301_305-HFC-D-303_307_Manual.pdf
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